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吸气剂在探测器封装中的应用
2014年03月15日 09:57 密封产业网

  在红外探测器的装配过程中,提高漏气速率的检测标准,通过氦质谱检漏仪对零部件进行漏率检测,筛选筛沙机和剔除有隐患的零部件。

  加工成形的表面在微观下,高低不平,实际表面积很大,提高表面光洁度,可以减少出气量。表面处理是提高表面光洁度的有效途径,对真空夹层内表面进行处理,一般采用电解抛光化学抛光、研磨,以及量子钝化处理技术。同时,尽量减少真空夹层内采用高放气材料和封装工艺,胶粘是巨大的放气源需要特别关注。

  高温真空处理是将零部件表面吸附的气体释放出来,零部件的高温真空处理是一种预处理过程。将零部件放在真空箱环境中,进行预抽一定时间,达到规定的真空度时,对产品进行加热烘烤,加热系统保证产品的温度均匀,加热温度严格控制在规定的温度,同时还需要增加超温保护控制,防止在加热温度过高造成红外器件损坏。当杜瓦内或系统真空度达到规定的值后,以及连续排气时间达到规定要求时,进行真空封结。

  安装吸气剂可以进一步确保封装的真空完善性。大多数金属材料中含有H2,H2是在冶炼过程中熔入的,在抽真空封口以后,会有H2继续释放出来。对H2有良好吸气作用的一氧化钯(PdO),实用的吸气剂是一种由粉状PdO与多孔填充剂混合制成的粒状物质。吸气剂可进行激活处理,使吸气剂中吸附的气体释放并被真空机组抽走,激活的吸气剂便封结在真空夹层内,吸收夹层的出气和微小漏气,保持真空夹层高的真空度。吸气剂激活次数有限,吸气速率和吸气量随着激活次数而衰减。

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