真空腔体是真空探针设备的关键部分，真空腔体密封性的好坏直接影响设备的使用性能。

　　设计高可靠性的真空腔体不仅包括腔体本身零部件之间（腔体与腔体盖、腔体盖与观察窗等）的密封性，也包括真空腔体与四周管路、阀门、操作部位之间结构密封的有效性。

　　真空腔体采用圆柱形不锈钢焊接结构，辽宁滤板一端密封固定于工作台板上；一端采用端盖密封，端盖上安装有观察窗，端盖可手动取下，用于取放待测晶圆（芯片）。真空腔体设计具有的特点：

　　（1）真空腔体安装于工作台板上，冷轧带钢方便操作人员操控，保证足够的空间以满足试验和生产的需要。

　　（2）工作台安装于真空腔体内，保证真空密封性。工作台x、y向操作位置在真空腔体外部呈90°分布，方便操作人员调整工作台，使待测芯片快速进入图像采集区域。两个探针操作位置在真空腔体外部呈180°分布，方便操作人员调整探针，使探针可靠接触待测芯片上焊盘。

　　（3）端盖锁紧、打开方便可靠，保证真空腔体密封性。