实验结果各种工艺热处理后的银丝，其维氏显微硬度值都低于原始加工态的硬度HV74.3，*低为HV42.8，根据测得各银丝的硬度值，我们选了原始加工态和三种热处理工艺：380℃保温30min空冷，620℃保温30min空冷，以及620℃保温30min随炉冷，以这四种银丝来进行密封性能实验，它们对应的硬度以及编号列于中。

　　实验方法在前面的热处理与硬度实验中，三种热处理工艺和原始加工态被选择出来，我们就是用这四种硬度的银丝进行真空密封实验的。

　　在金属垫圈法兰密封中，影响真空密封性能的因素很多，比如：密封结构的设计，密封面的光洁度，密封材料的软硬，法兰的装配，以及密封力的大小等等。本文所讨论的，主要是针对不同硬度的银丝进行比较，所以要使用同一套夹具，并用相等的密封力，这样才具有可比性。

　　我们选用了两个法兰均为台阶型密封的真空角阀，其一端的台阶型法兰用银丝密封，另一端口与分子泵机组及氦质谱检漏仪相连，用检漏仪对银丝密封处进行检漏，以此测量银丝的密封性能。整套实验设备示意图如所示，用作夹具的台阶型法兰和银丝如所示。对于每一次密封实验，装配该法兰时，六对M6螺丝都用力矩扳手拧紧至100kgcm，以保证密封力的相等。

　　有两个位置是放置银丝的密封面，其光洁度都为7（0.63Λm），直径1mm的银丝被焊接成公称直径35mm的密封圈，经过前面1.2所选的工艺热处理并编号之后，就放在这样的密封面，由螺栓提供的密封力压紧变形，再用检漏仪检测各个密封面处的漏率，从得到的结果比较各银丝的密封性能。

　　之所以采用上、中、下三个法兰形成两个密封面这种形式，是为了减小力矩误差对实验结果的影响，在进行实验时，**次将1、2银丝分别放在位置1和位置2，加密封力后测漏率；第二次将2、3银丝分别放在位置1和位置2，加密封力后测漏率；依此，第三次和第四次是将3、4银丝和4、1银丝分别放在位置1和位置2，加密封力后测漏率。这样，即使由力矩扳手提供的密封力稍有不同，它对实验结果的影响也被分散，而每一种银丝都分别在位置1和位置2进行过实验，算总的平均值又可以将这两处密封面的的差异造成的误差消除掉。

　　考虑到很多偶然因素都可能影响漏率的测量值，我们在每次（两种）银丝密封圈装配压紧之后，都对每个银丝密封圈测10个数据，并且每两次之间相隔1小时。10个数据测完，并不拆下密封圈，而是让其在密封力的作用下保持14天，然后再测出十个数据，这是为了比较银丝是否会有应力松弛，以及是否会影响密封效果。

　　实验结果将每一组密封实验漏率数据记录、整理，列于表2、。其中，为每次装配当天所测漏率值，为14天后所测漏率值，各漏率平均值是十个数值出去*高、*低值之后的平均值。

　　单从的数据，可以看出，银丝的密封性能与其工艺（也就是与其硬度）密切相关：1加工态银丝*硬（HV74.3），漏率*大，即密封效果*差；3620℃空冷银丝硬度次之（HV63.6），漏率也次之；2380℃空冷银丝硬度又次之（HV58.7），漏率也更小一些；4620℃随炉冷银丝硬度*软（HV42.8），漏率也*小，也即密封效果*好。但是，硬度HV58.7的2银丝与硬度HV42.8的4银丝相比，漏率的差异很小。

　　再看的数据，趋势与相近，所不同的是*软的4银丝的漏率反而比较硬的2银丝的漏率稍大。把和结合起来看，的漏率值都比表2中对应的数据大，也就是说，经过两周的时间，银丝的密封性能都有所下降。但是，漏率值的增加幅度却各不相同，其中2银丝的漏率增加幅度*小，而4银丝的漏率增加幅度*大，显然4银丝的密封效果也下降得*明显，已经差于2银丝了。

　　实验结果分析对于99.9%的纯银，只有面心立方（fcc）一种晶体结构，不存在第二相强化，那么影响硬度的因素，主要就是银的晶粒度以及冷加工导致的晶粒畸变。而热处理对银丝硬度的影响，也主要来自晶粒度和畸变晶粒的变化。

　　我们对四种银丝的镶嵌试样进行腐蚀，观察它们的金相组织，并拍摄照片。1、2、3和4银丝试样经15%稀王水在60～80℃腐蚀后的金相照片，放大倍数为600倍。从金相照片上看，原始加工态的1银丝的晶粒相对比较细，这可能是由于大的冷变形加工使晶粒畸变所致，1银丝的高硬度，也正是来源于这种形变；经过热处理的2、3和4银丝的晶粒尺寸则都有较大的增长，它们的硬度也都有所下降，这是由于较高的温度一方面使经畸变的晶粒亚结构发生了回复，一方面也使晶粒了发生长大（再结晶）。

　　银丝的密封性能，主要决定于其硬度（在其他各种条件均相同的情况下），但也并非越软越好。在实际应用中，620℃保温后随炉冷的4银丝虽然很软，密封后的漏率也很小，但在经过密封力较长时间的作用之后，其密封性能却有较大的降低。分析原因，很可能是由于应力松弛所致。这是因为，面心立方结构fcc晶体的滑移系本来就很多，而经过了再结晶的很软的银丝，就更容易在大的应力作用下由于滑移而产生塑性变形，从而使应力得到松弛。与密封面之间压力的减小又直接导致了密封性能的下降。

　　与620℃保温后随炉冷的4银丝相比，380℃保温后空冷的2银丝硬度虽然硬一些，但两者装配后的漏率相差并不大，而且后者在经过密封力较长时间的作用之后，密封效果的下降并不明显，所以我们认为，380℃保温后空冷的2银丝更适宜用于超高真空密封。

　　至于原始冷加工态的1银丝和620℃保温后空冷的3银丝，它们的硬度较高，密封性能也比2和4银丝差，所以更不宜用于超高真空密封。

　　结论通过前面的实验和对实验结果的分析，我们得出如下结论：通过热处理可以明显地降低冷加工态银丝的硬度；硬度明显地影响银丝的密封性能；并非*软的银丝*适宜用于超高真空密封，还要考虑应力松弛现象；所做实验的各种热处理工艺中，380℃保温后空冷是*适宜用来处理冷加工银丝的。