工业光氧催化废气净化器的具体工作原理是利用了半导体光催化氧化的羟基自由基反应机理，利用光催化氧化技术可以高效降解或完全矿化常见的气相有机污染物，而不产生二次污染。袭著革，李官贤研究表明，纳米级TiO2复合一种金属氧化物制成光催化剂对NO2、SO2、H2S等酸性气体和NH3、CS2等碱性气体去除效果较好，且这些有害气体可以较为容易地氧化成为NO3-、SO42-等。把这项技术应用于POPs的处理，可以取得良好的效果，但是并不是所有的半导体材料都可以用作这项技术的催化剂，比如CdS是一种高活性的半导体光催化剂，但是它容易发生光阳极腐蚀，在实际处理技术中不太实用。而TiO2可使用的波长可达387.5nm，价格便宜，多数条件下不溶解，耐光，无毒性，因此TiO2得到了广泛的应用。恶臭气体利用排风设备输入到本净化设备后，净化设备运用高能C波光束及臭氧对恶臭气体进行协同分解氧化反应，使恶臭气体物质其降解转化成低分子化合物、水和二氧化碳，再通过排风管道排出室外。而利用高能UV光束裂解恶臭气体中细菌的分子键，破坏细菌的核酸（DNA），再通过臭氧进行氧化反应，彻底达到脱臭及杀灭细菌的目的，通过高能紫外线光破坏降解分子键及协同分解氧化反应去除有机污染物。
光氧催化废气净化器大的优势特点
（1）光解氧化适用环境：光解氧化适合在常温下将废气臭气等有毒有害有味成份完全氧化净化成无毒无害味的低分子成份，适合处理高浓度（可用预处理的方式让浓度均匀通过）、气量大（设备可组合式处理）、分子结构稳定性强的有毒有害气体。
（2）有效净化彻底：通过光解氧化可直接将空气中的有机废气完全氧化成无毒无害的物质，不留下任何二次污染，
（3）高效节能：光解氧化利用人工紫外线灯管产生的真空波紫外光作为能源来活化光催化剂，驱动氧化—还原反应，而且光催化剂在反应过程中并不消耗，利用废气臭气表面中的水份和氧气作为氧化剂，有效地降解有毒有机废气体成为光催化高效净化、节约能源的zui大特点。
4）广谱性：光解氧化对从烃到羧酸的种类众多有机物都有效，即使对原子有机物如卤代烃、染料、含氮有机物、有机磷杀虫剂也有很好的去除效果，只要达到一定的反应时间和反应环境配比即可达到完全氧化，可以说氢氧自由基的氧化对象几乎没有选择性，能跟任何现有物质反应。
（5）使用命长：从理论上讲，由于光解氧化反应中直接参与氧化还原，所以没有损耗，寿命是无限长的，无需更换。设备选型说明A、若采用UV光解技术净化废气，首先需要确定个化学键键能，只有键能低于UV光子能量，才能被裂解上表中包含了氨、硫化氢、甲硫醇、甲硫醚等恶臭气体的所有化学键键长、键能参数，而光解氧化除臭设备产生的185nm超强紫外线光的光子能量达到647KJ/mol，185nm超强紫外线光波段中的成分广谱波长可短至100nm，其光子能量更高达800KJ/mol以上，几乎所有恶臭气体的分子链都可被打开，从而起到消除臭味的作用。要通过臭氧将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。顾需要有充分的氧气被高能UV光照射生成臭氧。